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重慶某企業研發出Micro LED晶圓檢測設備
重慶某企業稱已成功研發出Micro LED晶圓檢測設備，可幫助顯示面板企業解決巨量芯片精準轉移難、壞點檢測難這兩大導致Micro LED 技術難以大規模商用的“痛點”。
本月，該設備將在國內某顯示面板企業生產線上進行應用測試，若測試順利，2024年上半年有望在該企業投用。
搖櫓船科技相關負責人介紹，生產一塊Micro led顯示屏，通常需要將單個尺寸小于50微米的數百萬個紅、綠、藍三色Micro LED芯片，從晶圓上依次精準轉移到僅有幾英寸甚至更小的驅動電路基板上，進行RGB排布，從而產生各種顏色。
而在芯片制造環節，誰都無法保證每顆Micro LED芯片都是完好無缺的。因此，在轉移之前，需要對幾英寸大小晶圓上的數百萬顆芯片進行檢測，找出有缺陷的芯片，從而避免后續的巨量修復，降低成本。
2年前，國內某顯示面板企業與多家機器視覺企業進行了探討，力圖借助機器視覺技術實現突破。最終，該企業與搖櫓船科技達成合作。
據了解，搖櫓船科技成立于2020年，是中國科學院、重慶人民政府“院地孵化”的第 一家硬科技人工智能企業，公司面向制造業提供機器視覺器件、智能化傳感硬件、智能工業機器人、AI智慧平臺及智能數字工廠系統解決方案。
經過反復論證，雙方確定了攻克難關的方向：利用搖櫓船科技的機器視覺技術，結合該顯示面板企業的生產工藝，量身研發Micro LED晶圓檢測設備來代替人眼，對巨量芯片壞點進行檢測，并引導芯片轉移裝置轉移巨量芯片。而要成功研發出這種設備，關鍵在于兩點：在成像端，要打造出擁有超大視野的高精度顯微成像系統；在算法端，要開發出能夠滿足芯片精準轉移和檢測的高水平算法。
搖櫓船科技在成像端擁有豐富的經驗和深厚的技術沉淀，相關研發工作難度不大。但在算法端，難度卻相當大。原因在于，針對Micro LED芯片的壞點檢測，缺乏缺陷數據。同時，以往業內通用的芯片轉移的標定方法，不適用于Micro LED芯片。
針對這兩道難關，搖櫓船科技組建了一支20多人的研發團隊。研發團隊一方面采用異常檢測算法，通過訓練正常樣本，讓沒有缺陷的樣本去找缺陷芯片，解決了缺陷數據不足的問題。另一方面，他們設計了全新的標定板，創新推出了適用于Micro LED芯片轉移定位的標定方法。
經過2年時間的反復嘗試、打磨、迭代，研發團隊成功研發出Micro LED晶圓檢測設備。經實驗室測試，該設備可以實現4-20倍連續變倍，在長工作距離及最 高放大倍率下，景深超過15微米，視野達到2毫米，像素分辨率達到0.67微米，圖像定位精度達到3個像素，定位精度水平遠高于目前業內5個像素的最 高水平。
搖櫓船科技相關負責人表示，在芯片檢測環節，這套設備對數百萬顆放在幾英寸大小晶圓上、比頭發還細的Micro LED芯片的漏檢率，小于0.01%，顯著提高了芯片缺陷檢測效果；在芯片轉移環節，其能夠引導芯片轉移裝置將芯片轉移精度控制在小于1微米的水平，確保每顆芯片位置都放得準。
基于此，這套檢測設備就能夠幫助顯示面板企業大大提升Micro LED顯示屏像素良率，并將需要修復的芯片數量控制在極低水平，進而大幅度降低Micro LED顯示屏生產成本，實現Micro LED顯示技術的大規模商用。
